洁净室静压差检测

此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或者负压，以防止洁净室内外气流间的相互影响。

1.检测要求

(1)静压差的检测要求要在洁净室内所有的门窗全部关闭的情况下进行

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间(3)测管口设在室内没有气流影响的任何位置均可，测管口面与气流流线平行(4)所测量记录的数据应精确到0.IPa

2.检测步骤:

(1)先关闭所有的门窗

(2)用微压计测量各洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与外界之间的压差。(3)记录所有数据

3. 合格标准

按照洁净室的设计和工艺的要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

(1)不同等级的洁净室或洁净区与非洁净区(室)之间的静压差，应不小于5Pa。(2)洁净室(区)与室外的静压差应不小于IOPa

(3)对于空气洁净度等级高于5级(100级)的单向流洁净室在开门时，门内0.6m处

的室内工作而含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度极限值。

(4)若达不到上述要求，则需重新调整新风量、排风量，直至合格为止